A чистая комната представляет собой инженерное пространство, в котором поддерживается очень низкая концентрация взвешенных частиц в воздухе. Оно хорошо изолировано, загрязнение хорошо контролируется и активно очищается. Такие помещения обычно используются для научных исследований и промышленного производства всех нанотехнологических процессов, таких как производство полупроводников. Цель чистой комнаты — не допускать попадания в нее всего, от пыли до биологических или парообразных частиц в воздухе, а значит, и в любые обрабатываемые внутри материалы.
Напротив, чистая комната также может помочь предотвратить вытекание материалов из нее. Обычно это является основной целью работы с опасными биологическими и ядерными материалами, фармацевтики и вирусологии.
Чистые комнаты обычно имеют уровень чистоты, который количественно определяется количеством частиц на кубический метр, измеренных по заранее определенным молекулам. Наружный окружающий воздух в типичных городских районах содержит 3 500 000 частиц на кубический метр размером 0,5 мкм или более, что эквивалентно чистой комнате с сертификатом ISO 9. В отличие от этого, чистые комнаты с сертификатом ISO 14644-1 класса 1 не допускают образования частиц в этом диапазоне размеров, при 0,3 на кубический метр мкм и меньше допускается только 12 частиц. Полупроводниковые предприятия обычно работают на уровне 7, в то время как предприятия уровня 1 встречаются очень редко.
1. Обзор чистой комнаты Marya
Чистые комнаты являются необходимостью в производстве полупроводников, индустрии перезаряжаемых батарей, биологических науках и любой другой высокочувствительной к загрязнению окружающей среды области.
Диапазон чистых комнат может варьироваться от очень маленьких до очень больших. С одной стороны, отдельная пользовательская лаборатория может быть построена в соответствии со стандартом чистой комнаты площадью в несколько квадратных метров, а с другой стороны, все производственное предприятие может быть включено в чистую комнату, занимающую тысячи квадратных метров на производственном цеху. Между большими и маленькими есть также модульная чистая комната. Некоторые считают, что они снизили стоимость расширения технологий и менее подвержены катастрофическим сбоям.
В таком широком диапазоне применений не все чистые комнаты одинаковы. Например, помещения, используемые в производстве полупроводников, не обязательно должны быть стерильными (т. е. в них отсутствуют неконтролируемые микроорганизмы); а те, которые используются в биотехнологиях, обычно должны быть таковыми. Напротив, те, которые используются в биотехнологиях, не требуют абсолютно чистых наноразмерных неорганических солей, таких как ржавчина, в то время как нанотехнологии абсолютно требуют этого. Поэтому общей чертой всех чистых комнат является строгий контроль за содержанием взвешенных частиц в воздухе, что может привести к вторичной очистке воздуха, поверхностей, персонала, входящего в помещение, инструментов, химикатов и оборудования. Иногда стоит обратить внимание и на частицы, выходящие из отсека, например, при исследованиях опасных вирусов или в местах работы с радиоактивными материалами.
2. Основная структура чистой комнаты
Во-первых, наружный воздух, поступающий в чистая комната фильтруется и охлаждается несколькими наружными воздухообрабатывающими установками с использованием постепенно более тонких фильтров для удаления пыли.
Внутри воздух непрерывно рециркулируется через вентиляционные блоки, содержащие высокоэффективные фильтры для очистки воздуха (HEPA) и/или ультранизкочастотные фильтры для очистки воздуха (ULPA) для удаления внутренне образующихся загрязняющих веществ. Используйте специальные светильники, стены, оборудование и другие материалы, чтобы минимизировать образование взвешенных частиц в воздухе. Если чистая комната спроектирована для ламинарного потока воздуха, для ограничения турбулентности воздуха можно использовать пластиковые листы.
Температура и влажность воздуха в чистых комнатах строго контролируются, поскольку они влияют на эффективность и средства фильтрации воздуха. Если для конкретного помещения требуется достаточно низкая влажность, чтобы статическое электричество стало проблемой, оно также будет контролироваться, например, с помощью коронного разряда для введения контролируемого количества заряженных ионов в воздух. Электростатический разряд особенно опасен в электротехнической промышленности, поскольку он может мгновенно повредить компоненты и схемы.
Любое чистая комната оборудование спроектировано так, чтобы генерировать минимальное загрязнение воздуха. Выбор материалов, используемых для строительства чистых комнат, не должен производить никаких частиц, поэтому цельные полы из эпоксидной смолы или полиуретана предпочтительнее. Используйте полированную нержавеющую сталь или порошковое покрытие из низкоуглеродистой стали сэндвич-панели для стен и потолков вместо железных сплавов, склонных к ржавлению и отслаиванию. Обеспечивая пазовые поверхности, избегают углов, таких как стена к стене, стена к полу и стена к потолку, и все стыки необходимо загерметизировать эпоксидным герметиком, чтобы избежать осаждения или образования частиц в стыках за счет вибрации и трения.
Ключевое слово:
Предыдущая страница:
Следующая страница
КОНТАКТ
Шанхайский офис:НО211, Северная дорога Футэ, район Пудун, Шанхай, Китай, 200131
Офис в Чанше:Комната 23069, Блок 6, Forte Star Shine World, район Юхуа, Чанша, провинция Хунань
Завод 1:Хунань Марья Технолоджи Ко., Лтд. Адрес: ул. САНЬ, д. 1, Промышленный парк SANY, цех № 7, Пилотная зона свободной торговли Чанша, провинция Хунань, Китай, 410100
Завод 2:№ 555, ул. Юпань, г. Вэйтань, район Сянчэн, Сучжоу, провинция Цзянсу, Китай
Завод 3:15-A, Промышленный квадрат венчурного капитала, дорога Янхэ, Сучжоуский промышленный парк
