1. Принцип воздушного потока чистых помещений
Чистые помещения поддерживают чистоту воздуха от частиц, используя HEPA или фильтры ULPA, которые используют принципы ламинарного или турбулентного потока воздуха. Ламинарная или однонаправленная система воздушного потока направляет отфильтрованный воздух вниз или горизонтально к фильтру, расположенному на стене рядом с полом чистой комнаты, или через приподнятый перфорированный пол для рециркуляции. Ламинарные системы воздушного потока обычно используются для 80% потолков чистых помещений для поддержания постоянной обработки воздуха. Для изготовления ламинарных воздушных фильтров и дымовых шкафов используются нержавеющая сталь или другие невыделяющие материалы, чтобы предотвратить попадание избыточных частиц в воздух. Турбулентный или неоднонаправленный поток воздуха использует ламинарные поточные шкафы и фильтры с неспецифической скоростью для поддержания постоянного движения воздуха в чистом помещении, хотя не все они находятся в одном направлении. Грубый воздух пытается захватывать частицы, которые могут присутствовать в воздухе, и толкать их к полу, где они попадают в фильтр и покидают среду чистой комнаты. Управление по санитарному надзору за качеством пищевых продуктов и медикаментов США и Европейский союз установили руководящие принципы и ограничения на микробное загрязнение, которые очень строги, чтобы гарантировать отсутствие микробного загрязнения в фармацевтических продуктах. Вы также можете использовать надувную камеру и клейкие прокладки между воздушным процессором и блоком фильтра вентилятора.
В дополнение к воздушным фильтрам, чистых помещений можно также использовать ультрафиолетовое излучение для дезинфекции воздуха. УФ-устройства могут быть установлены в потолочных светильниках и облучать воздух, убивая потенциальные инфекционные частицы, включая 99,99% аэрозольных микробных и грибковых загрязнителей. Ультрафиолетовый свет ранее использовался для очистки поверхностных загрязнителей в стерильных средах, таких как операционные больниц. По мере того, как оборудование становится более доступным, его использование в других чистых помещениях может возрасти. Потенциальные преимущества УФ-очистки включают снижение зависимости от химических дезинфицирующих средств и увеличение срока службы фильтров HVAC.
2. Различные типы чистых помещений
Некоторые чистые помещения остаются под положительным давлением, поэтому, если происходит утечка, воздух будет вытекать из камеры, а не поступать незагрязненный воздух. Это наиболее типично в производстве полупроводников, где даже небольшое количество утечки частиц может загрязнить весь процесс, и любая утечка не будет вредна для окружающего сообщества. Обратная ситуация, например, в высокоуровневых биологических лабораториях, работающих с зараженными вирусами; они всегда содержатся под отрицательным давлением, а отработанный газ проходит через высокоэффективные фильтры и дополнительные процедуры стерилизации. Оба варианта все еще являются чистыми помещениями, поскольку уровень частиц внутри поддерживается в очень низком диапазоне.
Некоторые чистые помещения системы HVAC регулируют влажность на таком низком уровне, что требуется дополнительное оборудование, такое как генераторы воздушных ионов, чтобы предотвратить проблемы с электростатическим разрядом. Это особенно важно в полупроводниковой промышленности, поскольку электростатический разряд может легко повредить современные конструкции микросхем. С другой стороны, активные ионы в воздухе также могут повредить открытые компоненты. Поэтому большинство работников высокотехнологичных и полупроводниковых предприятий должны носить проводящую обувь во время работы. В чистых помещениях низкого уровня может потребоваться только специальная обувь с полностью гладкой подошвой, которая не будет загрязнена пылью или грязью. Однако в целях безопасности подошва обуви не должна представлять опасности скольжения. Вход в чистую комнату обычно ограничен лицами, одетыми в костюмы для чистых помещений, включая необходимое оборудование.
В чистых помещениях с менее строгими стандартами загрязнения воздуха на входе в чистую комнату может не быть воздушного душа. Передний холл (известный как «серая комната») используется для надевания одежды из чистой комнаты . Эта практика очень распространена, например, на многих атомных электростанциях, которые в целом работают как чистая комната с низким противодавлением.
3. Переработка и утилизация Чистые помещения
В чистой комнате с рециркуляцией воздух возвращается в камеру с отрицательным давлением через низкий обратный поток воздуха у стены. Затем воздух затягивается обратно в чистую комнату блоком фильтра вентилятора HEPA. Воздух непрерывно рециркулируется и фильтруется через HEPA, удаляя частицы из воздуха каждый раз. Еще одним преимуществом этой конструкции является то, что ее можно комбинировать с кондиционированием воздуха.
После того, как воздух засасывается извне чистой комнаты через чистую комнату, HEPA он поступает в чистую комнату через блок фильтра вентилятора. Затем воздух проходит через выпускную решетку наружу чистой комнаты. Преимущество этого метода заключается в его низкой стоимости. Недостатком является то, что вентиляторный фильтр HEPA имеет короткий срок службы, меньшее количество частиц, чем аналогичные рециркуляционные чистые помещения, и не может вместить кондиционер.
4. Этапы работы чистых помещений
Для минимизации переноса твердых частиц людьми, входящими в чистую комнату, персонал входит и выходит через шлюзы (иногда включая этап воздушного душа) и носит защитную одежду, такую как наушники, маски, перчатки, ботинки и рабочая одежда.
Обычно исключаются распространенные материалы, такие как бумага, карандаши и ткани из натуральных волокон, поскольку они могут выделять частицы во время использования.
Уровень частиц обычно проверяется с помощью счетчика частиц, а микроорганизмы обнаруживаются и подсчитываются с помощью методов экологического мониторинга. Полимерные инструменты, используемые в чистой комнаты должны тщательно определять их химическую совместимость с жидкостью для обработки чистых помещений и обеспечивать образование низкого уровня частиц.
При уборке используйте только специальные швабры и ведра. Используемые чистящие химикаты часто содержат липкие элементы для улавливания пыли и могут потребовать использования легколетучего растворителя для второго этапа удаления. Мебель для чистых помещений предварительно разработана для образования минимального количества частиц и легко чистится.
Ключевое слово:
Предыдущая страница:
Следующая страница





